ДІАГНОСТИКА СКЛАДУ ПЛІВОК НА ОСНОВІ СПЛАВУ ГЕЙСЛЕРА ЗА РЕЗУЛЬТАТАМИ ЛОКАЛЬНИХ ДОСЛІДЖЕНЬ
DOI:
https://doi.org/10.18372/2310-5461.15.5114Анотація
Проведено дослідження плівок на основі сплаву Гейслера Co2CrGa, виготовлених методом дискретного випаровування у вакуумній камері. Виявлено, що результати визначення складу плівок, отримані як електронно-зондовим методом, так і Оже-електронною спектроскопією, не відповідають складу масивного зразка. Для відтворення складу масивного зразка під час напилення плівок запропоновано збільшити температуру випаровувача.Посилання
Kämmerer S. The Heusler alloy Co2MnSi in thin films: Dissertation zurErlangung des Doktorgrades der FakultätfürPhysik der Universität Bielefeld / S. Kämmerer. — Bielefeld, 2004. — 106 s.
Еремеев С. В. Исследование границ раздела сплава Гейслера — полупроводник / С. В. Еремеев, С. С. Кульков, С. Е. Кулькова // Физика твердого тела. — 2008. — Т. 50, № 2. — С. 250—260.
Огнев А. В. Спинтроника: физические принципы, устройства, перспективы / А. В. Огнев, А. С. Самардак // Вестник ДВО РАН. — 2006. — № 4. — С. 70—80.
Ирхин В. Ю. Полуметаллические ферромагнетики / В. Ю. Ирхин, М. И. Кацнельсон // Успехи физических наук. — 1994. — Т. 164, № 7. — С. 705—724.
Willich P. Electron probe microanalysis of submicron alloy films / P. Willich // Journal de Physique, — 1984. — T. 45, № 2. — P. C. 2—621; — C. 2—624.
Легкова Г. В. Методика электронно-зондового анализа мелких объектов / Г. В. Легкова, В. И. Татаринцев // Минералогический журнал. — 1981. — Т. 3, № 3. — С. 97—102.
Слусар Т. В. Теоретичні засади дослідження тонких плівок електронно-зондовим методом: зб. тез X між. наук.-практ. конф. молодих учених і студентів, 7–8 квітня 2010 р. / Т. В. Слусар, Д. В. Гребенщиков, О. М. Сущенко. — К. : НАУ, 2010. — С. 206.
Гребенщиков Д. В. Дослідження напівпровідникових феромагнітних плівок методом електронно-зондового мікроаналізу: зб. тез X між. наук.-практ. конф. молодих учених і студентів, 7–8 квітня 2010 р. / Д. В. Гребенщиков, Т. В. Слусар, О. М. Сущенко. — К. : НАУ, 2010. — С. 191.
Сущенко О. М. Методи дослідження тонких плівок: зб. тез X між. наук.-практ. конф. молодих учених і студентів, 7–8 квітня 2010 р. / О. М. Сущенко, Д. В. Гребенщиков, Т. В. Слусар, — К. : НАУ, 2010. — С. 207.
