EXPERIMENTAL COMPARISON OF DIFFERENTIAL-PHASE METHOD AND METHOD OF AUTOFOCUSING IN DEFINING THE ROUGHNESS PARAMETERS OF SURFACE

Authors

  • О. Стельмах National Aviation University
  • К. Бадір National Aviation University
  • Д. Андреєва National Aviation University

DOI:

https://doi.org/10.18372/2310-5461.5.5027

Keywords:

3-D image of rough surfaces, differential-phase laser scanning profilograph-profilometer (DFLSPP), microscope «MICROSCAN», roughness, akusto-optical method of scanning

Abstract

In this work is considered differential-phase method and method of autofocusing, which are used on differential-phase laser scanning profilograph-profilometer (DFLSPP) and microscope «MICROSCAN» correspondently. Also is considered experimental comparison of defining of 3D micro- and nano-geometrical surface conditions and standardized roughness parameters of surface with the help of those methods.

References

Стельмах О. У. Лазерний скануючий профілограф-профілометр ДЕДАЛ-ЛСПП / Міжвузівський збірник «Наукові нотатки» / О. У. Стельмах, С. М. Кияшко, Є. М. Смірнов [та ін.]. — К., 2005. — С. 136—145.

Патент 217 9328 С1 РФ, МКИ 7G02 B21/00, G01 B11/30. Способ дифференциально-фазовой профилометрии и/или профилометрии и устройство для его реализации / С. Н. Кияшко (РФ), Е. Н. Смирнов, Л. Н. Ельченко, С. А. Коленов, А. У. Стельмах (Украина). — 2001116525/28; Заявлено 19.06.01; Опубл. 10.02.02, Бюл. №4. — С. 15.

Колєнов С. О. Аналіз викривлень хвильового фронту лазерним диференційно-фазовим методом. Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.05/ Київський національний ун-т ім. Тараса Шевченка. — К., 2003. — С.

http//:www.nanofocus.com

Downloads

Published

2010-09-08

Issue

Vol. 5 No. 1 (2010)

Section

Avionics and Engineering