Метод розрахунку результуючої похибки скануючого зондового мікроскопу
DOI:
https://doi.org/10.18372/2073-4751.68.16522Ключові слова:
метрологічне забезпечення, нановимірювання, скануючий зондовий мікроскоп, компенсація похибок, зовнішні дестабілізуючі факториАнотація
На основі аналізу існуючих підходів до процесу вимірюваня нанооб’єктів за допомогою скануючого зондового мікроскопу, було встановлено, що розрахунок та подальша компенсація результуючої похибки потребує ретельного вивчення зовнішніх дестабілізуючих факторів. Було доведено, що результуюча похибка скануючого зондового мікроскопу через вплив швидкозмінних зовнішніх умов навколишнього середовища в будь-який момент часу виявляється випадковою величиною. Встановлено, що при автоматичній корекції похибки найбільший вплив на результат вимірювання нанооб’ектів чинить не абсолютна величина тієї чи іншої спектральної складової похибки, а тільки її зміна в часі, яка залежить від періоду координатних функцій розпаду. В статті вирішується актуальна задача розробки методів розрахунку та корекції результуючої похибки скануючого зондового мікроскопу із врахуванням цілого ряду випадкових функцій часу. Було проведено розрахунок математичного очікування появи випадкової похибки, спричиненої впливом зовнішніх дестабілізуючих факторів та розроблені методи її компенсації з підвищеними показниками точності та швидкодії. На основі проведених досліджень, розроблена загальна математична модель формування результуючої похибки вимірювання нанооб’ектів за допомогою скануючого зондового мікроскопу із врахуванням впливу швидкозмінних зовнішніх дестабілізуючих факторів, що дає можливість автоматично корегувати результати вимірювання в on-line режимі.
Посилання
Pokrajac P. Direct position determination of wideband signals: Coherent and noncoherent approach, / P. Pokrajac, D. Vucic, P. Okiljevic. // International Conference on Telecommunications in Modern Satellite, Cable and Broadcasting Services (TELSIKS), 2013. – №11. – P. 77-80.
McKeown P. Nanotechnology–special article Proc. / McKeown. // Nano-metrology in Precision Engineering. – 2008. – P. 5-55.
Schwenke H. Future challenges in coordinate metrology: addressing metrological problems for very small and very large parts / H.Schwenke, F. H ̈artig, K. Wendit, F. W ̈aldele. // IDW. – 2001. – P. 1-12.
Peggs G.N. Measuring in three dimensions at the mesoscopic level Proc. / G. N. Peggs, A. Lewis, R. K. Leach. // ASPE Winter Topical Meeting – Machines and Processes for Micro-scale and Meso-scale Fabrication, Metrology and Assembly. – 2003. – P. 53-79.
Liang S. Machining and metrology at micro/nano scale Keynote speech Proc. / Liang. // ICPT. – 2004. – P. 9-11.
Hausottee T. Traceable nanometrology with a nanopositioning and nanomeasuring machine / Hausottee., 2004. – 450 p. – (J. Chin. Soc. Mech.).
M.S. Muthuvalu, V.S. Asirvadam, and G. Mashadov. Performance analysis of Arithmetic Mean method in determining peak junction temperature of semiconductor device. – Ain Shams Eng. J. – Vol. 6. – №4. – P. 1203–1210. Dec. 2015.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
