ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНЕ ПОРІВНЯННЯ ДИФЕРЕНЦІАЛЬНО-ФАЗОВОГО МЕТОДУ ТА МЕТОДУ ДИНАМІЧНОГО ФОКУСУВАННЯ ПРИ ВИЗНАЧЕННІ ПАРАМЕТРІВ ШОРСТКОСТІ ПОВЕРХОНЬ

Автор(и)

  • О. Стельмах Національний авіаційний університет
  • К. Бадір Національний авіаційний університет
  • Д. Андреєва Національний авіаційний університет

DOI:

https://doi.org/10.18372/2310-5461.5.5027

Ключові слова:

3-D зображення шорстких поверхонь, диференціально-фазовий лазерний сканувальний профілограф-профілометр (ДФЛСПП), мікроскоп «МІКРОСКАН», шорсткість, акустично-оптичний метод сканування

Анотація

Розглянуто диференціально-фазовий метод та метод динамічного фокусування, які використовуютьcя у приладах: диференціально-фазовий лазерний сканувальний профілограф-профілометр (ДФЛСПП) та мікроскоп «МІКРОСКАН» відповідно. Проведено експериментальне порівняння визначення тривимірного мікро- та нано-геометричного стану поверхні та стандартизованих параметрів шорсткості повер-хонь за допомогою цих методів.

Посилання

Стельмах О. У. Лазерний скануючий профілограф-профілометр ДЕДАЛ-ЛСПП / Міжвузівський збірник «Наукові нотатки» / О. У. Стельмах, С. М. Кияшко, Є. М. Смірнов [та ін.]. — К., 2005. — С. 136—145.

Патент 217 9328 С1 РФ, МКИ 7G02 B21/00, G01 B11/30. Способ дифференциально-фазовой профилометрии и/или профилометрии и устройство для его реализации / С. Н. Кияшко (РФ), Е. Н. Смирнов, Л. Н. Ельченко, С. А. Коленов, А. У. Стельмах (Украина). — 2001116525/28; Заявлено 19.06.01; Опубл. 10.02.02, Бюл. №4. — С. 15.

Колєнов С. О. Аналіз викривлень хвильового фронту лазерним диференційно-фазовим методом. Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.05/ Київський національний ун-т ім. Тараса Шевченка. — К., 2003. — С.

http//:www.nanofocus.com

##submission.downloads##

Опубліковано

08.09.2010

Номер

Том 5 № 1 (2010)

Розділ

Авіоніка та машинознавство