COMPARISON OF INFORMATIONAL CONTENT OF THE METHOD OF DYNAMIC FOCUSING AND DIFFERENTIAL PHASE METHOD OF DEFINITION OF THE SURFACES ROUGHNESS
DOI:
https://doi.org/10.18372/2310-5461.16.5312Keywords:
image of rough surfaces, differential-phase laser scanning profilograph-profilometer (DFLSPP), microscope «Microscan», roughness, akusto-optical method of scanningAbstract
In this work is considered differential-phase method and method of autofocusing, which are used on differential-phase laser scanning profilograph-profilometer (DFLSPP) and microscope «MICROSCAN» correspondently. Also is considered experimental comparison of defining of 3D micro- and nano-geometrical surface conditions and standardized roughness parameters of surface with the help of those methods.References
Лазерний скануючий профілограф-профіло-метр ДЕДАЛ-ЛСПП // Міжвузівський збірник «Наукові нотатки» / О. У. Стельмах, С. М. Кияшко, Є. М. Смірнов та ін. . — К., 2005.
Патент 217 9328 С1 РФ, МКИ 7G02 B21/00, G01 B11/30. Способ дифференциально-фазовой профилометрии и/или профилометрии и устройство для его реализации / С. Н. Кияшко (РФ), Е. Н. Смирнов, Л. Н. Ельченко, С. А. Коленов, А. У. Стельмах (Украина). — №2001116525/28; Заявлено 19.06.01; Опубл. 10.02.02, Бюл. № 4. —
С. 15.
Колєнов С. О. Аналіз викривлень хвильового фронту лазерним диференційно-фазовим методом. Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.05 / Київський національний ун-т імені Тараса Шевченка. — К., 2003.
Електронний ресурс . — Режим доступу http//:www.nanofocus.com
Downloads
Published
2012-10-29
How to Cite
Стельмах, О., Софронов, О., & Чернишова, С. (2012). COMPARISON OF INFORMATIONAL CONTENT OF THE METHOD OF DYNAMIC FOCUSING AND DIFFERENTIAL PHASE METHOD OF DEFINITION OF THE SURFACES ROUGHNESS. Science-Based Technologies, 16(4), 44–47. https://doi.org/10.18372/2310-5461.16.5312
Issue
Section
Avionics and Engineering
