ПОРІВНЯННЯ ІНФОРМАТИВНОСТІ МЕТОДУ ДИНАМІЧНОГО ФОКУСУВАННЯ ТА ДИФЕРЕНЦІЙНО-ФАЗОВОГО МЕТОДУ ВИЗНАЧЕННЯ ШОРСТКОСТІ ПОВЕРХОНЬ
DOI:
https://doi.org/10.18372/2310-5461.16.5312Ключові слова:
зображення шорстких поверхонь, диференціально-фазовий лазерний сканувальний профілограф-профілометр (ДФЛСПП), мікроскоп «Мікроскан», шорсткість, акустооптичний метод сканування.Анотація
Розглянуто диференційно-фазовий метод та метод динамічного фокусування, які використовуються у приладах: диференційно-фазовий лазерний скануючий профілограф-профілометр (ДФЛСПП) та мікроскоп «Мікроскан» відповідно. Проведено експериментальне порівняння визначення тривимірного мікро-та нано-геометричного стану поверхні та стандартизованих параметрів шорсткості поверхонь за допомогою цих методів.Посилання
Лазерний скануючий профілограф-профіло-метр ДЕДАЛ-ЛСПП // Міжвузівський збірник «Наукові нотатки» / О. У. Стельмах, С. М. Кияшко, Є. М. Смірнов та ін. . — К., 2005.
Патент 217 9328 С1 РФ, МКИ 7G02 B21/00, G01 B11/30. Способ дифференциально-фазовой профилометрии и/или профилометрии и устройство для его реализации / С. Н. Кияшко (РФ), Е. Н. Смирнов, Л. Н. Ельченко, С. А. Коленов, А. У. Стельмах (Украина). — №2001116525/28; Заявлено 19.06.01; Опубл. 10.02.02, Бюл. № 4. —
С. 15.
Колєнов С. О. Аналіз викривлень хвильового фронту лазерним диференційно-фазовим методом. Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.05 / Київський національний ун-т імені Тараса Шевченка. — К., 2003.
Електронний ресурс . — Режим доступу http//:www.nanofocus.com
##submission.downloads##
Опубліковано
29.10.2012
Номер
Розділ
Авіоніка та машинознавство
