БЕЗКОНТАКТНИЙ МЕТОД ТРИВИМІРНОГО ПРОФІЛЮВАННЯ ПОВЕРХНІ

V.I. Zakiev

Анотація


 Розглянуто інтерферометричні методи аналізу поверхні. Запропоновано автоматичний метод безконтактного тривимірного профілювання поверхні.


Посилання


Olszak A.G., Schmit J., Heaton M.G. Interferometry: Technology and Applications, Veeco Instruments, Inc. //www.veeco.com/

Hiroshi Komatsu Institute for Materials Research, Tohoku University, Sendai, Japan, Principles and Applications of Two-Beam Interferometry. //www.microscopyu.com/

Нагибина И.М., Москалев В.А., Полушкина Н.А., Рудин В.Л. Прикладная физическая оптика ФГУП. – М.: Высш. шк., 2002. – 565 с.


Повний текст: PDF

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


ISSN 2306-1472 (Online), ISSN 1813-1166 (Print)

Передплатний індекс 86179

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Unported License.

Ulrich's Periodicals DirectoryIndex CopernicusDOAJSSMРИНЦWorldCatCASEBSCOCrossRefBASEDRIVERНаціональна бібліотека ім. ВернадськогоНауково-технічна бібліотека НАУ